微惯性测量单元 (MicroInertialMeasurementUnit,MIMU)具有体积小、功耗低、成本低、可靠性高等特点,在车辆/舰船稳定控制平台、导航控制系统、小型弹类武器制导系统中具有广阔的市场应用前景.陀螺仪及微机械加速度计是 MIMU 的主要元件,MIMU 作为惯性制导系统的核心元件,其体积和性能不但直接影响惯性系统的精度,还决定了它在惯性制导系统的应用范围.主要介绍了基于三轴 MEMS陀螺及三轴 MEMS加速度计的小体积低成本微惯性测量单元的研究,通过对敏感器件的误差补偿和信号降噪等措施来提高 MIMU 系统指标精度,使其适用于较高要求的应用领域. |